发明名称 半导体布置及其形成方法
摘要 提供了一种半导体布置及其形成方法。半导体布置包括设置在保护区的第一侧的有源区。有源区包括有源器件。半导体布置的保护区包括有源区的残留物。还提供了形成半导体布置的方法。
申请公布号 CN104183629A 申请公布日期 2014.12.03
申请号 CN201310456169.3 申请日期 2013.09.29
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 庄学理;吴伟成;黄进义;刘世昌
分类号 H01L29/10(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L29/10(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种半导体布置,包括:保护区;以及有源区,设置在所述保护区的第一侧,所述有源区包括有源器件,所述保护区包括来自所述有源区的残留物。
地址 中国台湾新竹