摘要 |
本发明之课题提供一种研磨材糊料,其系可减低氧化铈的使用量,研磨材粒子在长期保存时不会发生凝集,分散安定性及研磨时的耐刮伤性优异,且研磨速度快。本发明之研磨材糊料,其特征为:含有组成相异的核.壳型研磨材粒子,核.壳型研磨材粒子的核含有选自特定金属元素群之至少一种金属元素的氧化物为主成分,该壳含有主成分的氧化铈与副成分的选自特定金属元素群之至少一种金属元素的氧化物,核与壳含有至少一种相同的金属元素的氧化物(包含氧化铈),核.壳型研磨材粒子的粒径分布的变动系数在20%以下,且前述核.壳型研磨材粒子的ζ电位的平均值在-120~-30mV的范围内。 |