用于静电吸座的保护盖;PROTECTIVE COVER FOR ELECTROSTATIC CHUCK

摘要

用于一静电吸座的保护盖系包含一传导晶圆以及在该传导晶圆至少一表面上的一抗电浆陶瓷层。该抗电浆陶瓷层覆盖该传导晶圆之一顶表面、该传导晶圆之多数侧壁，以及该传导晶圆一底表面之一外围。替代的，用于一静电吸座的保护盖系包含一抗电浆块体烧结陶瓷晶圆以及在该抗电浆块体烧结陶瓷晶圆一底表面之一部分上的传导层，其中该底表面之一周边并未被覆盖。