减压系统与真空处理装置

摘要

本发明之减压系统包含：各别具有冷却部的复数个减压装置；以及压缩装置。压缩装置系包含具有交流电动机的压缩部，且以相应于交流电动机之旋转速度的流量对各冷却部供给压缩冷媒。各冷却部系在该压缩冷媒絶热膨胀时补充气体。减压系统更包含：检测各冷却部之温度的温度检测部；可对供给至交流电动机的交流电源之频率进行变更的变频装置；以及控制变频装置之输出频率的频率控制部。频率控制部，系在复数个减压装置中之至少一个减压装置的冷却部之温度为第1临限值以上时相对地提高变频装置之输出频率，而在复数个减压装置全部冷却部之温度下降至未满第1临限值时相对地降低变频装置之输出频率。

主权项

一种减压系统，其特征在于，具备：复数个减压装置，其各别包含复数个冷却部，用以接收经压缩过的冷媒，且当使该经压缩过的冷媒絶热膨胀时可补充气体；一压缩装置，其系包含具有一交流电动机的一压缩部，且以相应于该交流电动机之旋转速度的流量，从该压缩部供给该经压缩过的冷媒至该复数个减压装置之各冷却部；一温度检测部，其检测该复数个减压装置的该复数个冷却部之温度；一变频装置，其可对供给至该交流电动机的一交流电源之一频率进行变更；以及一频率控制部，其控制该变频装置之一输出频率；其中，该频率控制部在预定之一每一检测周期取得各减压装置的冷却部之温度，且在该每一检测周期判定该些减压装置中之至少一个减压装置的冷却部之温度是否为一第1临限值以上；其中当在连续之检测周期中该至少一个减压装置的冷却部之温度为一第1临限值以上时，于该每一检测周期阶段性地提高该变频装置之该输出频率；当该些减压装置中之至少一个减压装置的冷却部之温度为比该第1临限值还高的一第2临限值时，将该变频装置之该输出频率设定在一上限值；以及在该每一检测周期判定该些减压装置全部的冷却部之温度是否为未满该第1临限值；当在连续之检测周期中该些减压装置全部的冷却部之温度为未满该第1临限值时，于该每一检测周期阶段性地降低该变频装置之该输出频率。