基板镀敷装置

摘要

目的在提供一种镀敷装置，其无须在镀敷槽外设置循环泵，即可使流速由镀敷槽的底部至液面为相同，可遍及基板全部区域，使镀敷膜厚成为均一，该镀敷装置系具备有：收容镀敷液的镀敷槽；安装卸下自如地保持基板的基板保持具；与被保持在该基板保持具的基板相对向配置的阳极；由基板观看，旋转自如地被垂设在镀敷液流之上游侧的交叉流叶轮；及该交叉流叶轮的驱动手段。