自己組織化可能な重合体のためのパターン付配向テンプレートを提供する方法

摘要

２次元アレイに自己組織化するように構成された自己組織化ブロック重合体を整列させるグラフォエピタキシーテンプレートであって、２次元アレイは、第１の軸に平行に延在し、直交する第２の軸に沿って相互に間隔を空けて配置され、連続する第２のドメインによって区切られた不連続な第１のドメインの平行な並びを有する。グラフォエピタキシーテンプレートは、第１の軸に対して平行に延在し、第１の軸を画定する第２の軸に沿って相互に間隔を空けて配置された第１及び第２の実質的に平行な側壁を有し、側壁に平行で側壁の間にあって側壁から連続する第２のドメインによって隔てられた基板上の自己組織化ブロック共重合体の不連続な第１のドメインの少なくとも１つの並びを保持する区画を提供する。この区画は、不連続な第１のドメインの少なくとも１つを区画内の特定の位置に配置するように構成されたグラフォエピタキシー核生成フィーチャを有する。グラフォエピタキシーテンプレートを形成し、デバイスリソグラフィのためにそれを使用する方法も開示される。【選択図】図７