| 发明名称 | 一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备及其使用方法。为了解决现有的紫外光/臭氧表面清洗与氧化改性设备中存在的工艺时间过长，设备自动化程度不高的问题，所述表面清洗与氧化改性设备主要由上下料传送系统、预热腔、工艺腔、冷却腔、真空系统、紫外光光源系统、自动控制与监测系统组成。上下料传送系统采用链轮和链条带动滚轴，滚轴带动轴上小滚球转动的传动方式；预热腔、工艺腔与冷却腔紧凑连接，和上下料传送系统构成连续型结构；真空系统采用两个真空泵来快速地保持各腔室的真空环境。本发明样品清洗和氧化改性效果好，设备安全可靠，操作简单，自动化程度高，极大的提高了生产的质量和效率。 | ||
| 申请公布号 | CN104167381A | 申请公布日期 | 2014.11.26 |
| 申请号 | CN201410330437.1 | 申请日期 | 2014.07.11 |
| 申请人 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 发明人 | 谢振勇;成秋云;吴得轶;李晔纯;周顺峰 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人 | 马强;李发军 |
| 主权项 | 一种连续式真空紫外光臭氧表面清洗与氧化改性设备，包括工艺腔（3），以及设置在工艺腔（3）内的紫外光光源系统（5），其特征在于， 还包括预热腔（2）、冷却腔（4）；所述预热腔（2）和冷却腔（4）壁面上开有保护气入口（14,16），所述工艺腔（3）壁面上开有氧气进气口（15）；所述工艺腔（3）设置在预热腔（2）和冷却腔（4）之间并通过腔室门（11,12）隔开，所述预热腔（2）进料口和冷却腔（4）的出料口也设有相应的腔室门（10,13）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）内以及预热腔（2）的进料口（8）和冷却腔（4）的出料口（9）处均设有可将被处理样品按需要从预热腔（2）进料口（8）传送至冷却腔（4）出料口（9）的上下料传送系统（1）；所述预热腔（2）、工艺腔（3）、冷却腔（4）通过管道和阀门与真空系统（6,17）相连；所述预热腔（2）、工艺腔（3）内设有加热系统。 | ||
| 地址 | 410205 湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号 | ||