发明名称 УЛЬТРАТОНКАЯ МЕМБРАНА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ОБЪЕКТОВ В ПРОСВЕЧИВАЮЩЕМ ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ
摘要 1. Ультратонкая мембрана для исследования объектов в просвечивающем электронном микроскопе, содержащая медную сетку и закрепленную на ней пленку из прозрачного для электронов материала, закрывающую, по крайней мере, одну из ячеек сетки, отличающаяся тем, что прозрачный для электронов материал выбран из ряда: SiO, SiN, AlO, MgO, а пленка закреплена непосредственно на медной сетке.2. Ультратонкая мембрана по п.1, отличающаяся тем, что толщина пленки составляет 20-100 нм.
申请公布号 RU147920(U1) 申请公布日期 2014.11.20
申请号 RU20140105180U 申请日期 2014.02.13
申请人 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки "Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук" (ИПТМ РАН) 发明人 Вяткин Анатолий Федорович;Волков Владимир Тимофеевич;Касумов Юсиф Алекберович;Колчина Анастасия Сергеевна
分类号 B01J47/12;G01N1/31 主分类号 B01J47/12
代理机构 代理人
主权项
地址