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发明名称
Method For Correcting Temperature Distribution of Semiconductor Device Measured by Infrared Thermal Imaging Camera And System Using The Same
摘要
申请公布号
KR101459668(B1)
申请公布日期
2014.11.20
申请号
KR20130038823
申请日期
2013.04.09
申请人
发明人
分类号
G01J5/02;G01J5/20
主分类号
G01J5/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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