载置台和等离子体处理装置

摘要

本发明提供一种在周围配置有由绝缘材料构成的环形部件的载置台，能够抑制粒子或异常放电的产生的技术。设置在等离子体处理装置中的载置台(3)，包括：棱柱状的金属制的载置台主体；形成于载置台主体的侧部的作为卡合部的凹部(61)；和与凹部卡合安装于载置台主体上的定位部件(7)。在定位部件上设置有突起部(72、73)，以在该突起部嵌合形成于环形部件(5)的下表面的凹部(55、56)的方式载置设置环形部件。因此，环形部件上表面作构成为未设置上下方向的贯通孔的平坦面，不会形成成为粒子的产生原因的间隙或与从环形部件的上表面用螺丝向载置台固定时的异常放电相关联的间隙，所以能够抑制粒子和异常放电的产生。

主权项

一种载置台，其为了在用于对基板进行等离子体处理的真空容器内载置所述基板而设置，所述载置台的特征在于，包括：用于载置基板的棱柱状的金属制的载置台主体；形成于所述载置台主体的侧部的卡合部；定位部件，其与所述卡合部卡合，安装于所述载置台主体上；由绝缘材料构成的环形部件，该环形部件设置成其上表面面对等离子体发生空间且包围所述载置台主体，并且在由所述定位部件定位了的状态下被载置于该定位部件上；和侧部绝缘部件，其设置成在所述环形部件的下方侧包围所述载置台主体，在所述环形部件不形成上下方向的贯通部分。