压印方法、压印装置、以及使用其的物品制造方法

摘要

一种压印方法包括：使形成在模具M上的图案与被供给基板W上的压射区的压印材料R接触；并且在接触时，在根据压印材料R填充到形成在模具M上的图案中的进展改变用于检测形成在基板W上的压射区上的多个对准标记AMM和AMW的检测器的位置的同时，检测所述多个对准标记AMM和AMW。

主权项

一种压印方法，用于通过使基板上的压印材料与形成在模具上的图案接触来将图案转印到压印材料，所述压印方法包括：使形成在模具上的图案与被供给基板上的压射区的压印材料接触；和在所述接触的步骤时，在根据压印材料填充到形成在模具上的图案中的进展改变用于检测形成在基板上的压射区上的多个对准标记的检测器的位置的同时，检测所述多个对准标记。