| 发明名称 | 旋涂硬掩模材料 | ||
| 摘要 | 本文公开并要求保护的是一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物具有富勒烯衍生物和交联剂。进一步公开了用于形成硬旋涂硬掩模的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN104159956A | 申请公布日期 | 2014.11.19 |
| 申请号 | CN201380008666.5 | 申请日期 | 2013.02.11 |
| 申请人 | 伯明翰大学 | 发明人 | 安德烈亚什·弗罗姆霍尔德;亚历克斯·鲁滨逊;耶德萨达·马尼安姆 |
| 分类号 | C08K9/04(2006.01)I;C01B31/02(2006.01)I;C09C3/08(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | C08K9/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 牛海军 |
| 主权项 | 一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，所述组合物包含：a.由以下通式表示的富勒烯衍生物，<img file="FDA0000551020000000011.GIF" wi="745" he="512" />其中n是1‑6的整数，所述富勒烯中的碳原子的数目Q是60、70、76、78、80、82或84，R<sup>1</sup>表示包括酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第一取代基，并且R<sup>2</sup>表示包括氢、卤素、C<sub>6</sub>‑C<sub>20</sub>芳基、C<sub>1</sub>‑C<sub>20</sub>烷基、酯、醇、酚、胺、酰胺、酰亚胺或羧酸的第二取代基；b.交联剂，所述交联剂包含两个以上热反应性基团或催化反应性基团。 | ||
| 地址 | 英国伯明翰 | ||