电磁蒸镀装置;ELECTROMAGNETIC STEAM PLATING DEVICE

摘要

本发明涉及OLED蒸镀装置，具体涉及一种电磁蒸镀装置，通过将传统镀膜装置上放置的永磁体替换为电磁铁，且通电后形成多个电磁区，该多个磁区形成阵列式矩阵回形结构；此外，每个磁区上方还设置有磁力传感器，以实时监控各磁区电磁铁的磁力强度，并将磁力强度转化为电流信号传输至可编程控制装置，该可编程控制装置根据磁力强度信号及金属遮罩变形情况等各种工艺参数，实时调整相应磁区的磁力强度，在将金属遮罩更加紧密的贴合在硬质基板的同时，有效避免在蒸镀工艺中出现混色的问题，进而提高产品性能及良率。