| 摘要 |
本発明は、電気回路の検査・修復システムに用いられる、改良された使い易い光学技術の提供を目的する。この課題の解決の手段として、本発明は、修復用レーザビームの特定の波長の収差を修正可能なスキャンレンズと、カメラのカメラレンズであって、該スキャンレンズを介して検査品からの光を捕捉することが可能で、該カメラによって検知された該修復用レーザビームの該特定の波長以外の１つ以上の特定の波長の収差を修正可能なカメラレンズと、を備える電気回路の検査・修復・検査システム用レンズアセンブリを提供する。【選択図】図１ |
