Wafer with probes for a scanning force microscope

摘要

Waferverbund (1) mit einer Vielzahl von Sonden (2) für ein Rasterkraftmikroskop, die aus einem Siliziumwafer (6) herausgearbeitet in einem regelmäßig strukturierten Waferrahmen (8) herausbrechbar angeordnet sind. Erfindungsgemäß sind die aus einkristallinem Silizium bestehenden Halteelemente (11) von mindestens zwei nebeneinander angeordneten Sonden (2) zur Bildung von Sondenstreifen (3) über eine direkte Anbindung (16) miteinander und die Halteelemente (11) der äußeren Sonden (2) der Sondenstreifen (3) über Halterungen (17) mit dem Waferrahmen (8) verbunden, die Sollbruchstellen (18', 19') in Form von Kerben (18, 19) aufweisen.