| 发明名称 |
Ａｌ基合金溅镀靶 |
| 摘要 |
本发明系提供一种Al基合金溅镀靶，其系可使泛用为电阻率低且耐热性佳之配线材料的Al-Nd/La合金之耐硷腐蚀性提高。本发明之Al基合金溅镀靶系由含有0.1~3原子%之Nd及La中至少1种之Al基合金而成，Al基合金中所含Fe量系控制于Nd及La中至少1种之合计量的1/76以下。 |
| 申请公布号 |
TWI460296 |
申请公布日期 |
2014.11.11 |
| 申请号 |
TW100143727 |
申请日期 |
2011.11.29 |
| 申请人 |
钢臂功科研股份有限公司 日本 |
发明人 |
大元诚一郎;高木敏晃 |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/34;C22C21/00 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼 |
| 主权项 |
一种Al基合金溅镀靶，其特征系由使Nd及La中至少1种含有0.1~3原子%而成之Al基合金所构成，且Al基合金中所含Fe量系Nd及La中至少1种之合计量的1/76以下。 |
| 地址 |
日本 |
