环状化合物、其制造方法、感放射线性组成物以及抗蚀图案形成方法

摘要

本发明提供一种对于安全溶剂的溶解性较高、高感光度且所获得的抗蚀图案形状良好、不易发生抗蚀图案崩塌的环状化合物、其制造方法、包含该环状化合物的感放射线性组成物、以及使用该组成物的抗蚀图案形成方法。另外，本发明提供一种具有特定结构的环状化合物、其制造方法、包含该化合物的感放射性组成物、以及使用该组成物的抗蚀图案形成方法。

主权项

一种环状化合物，其由下述式(1)表示：[化1](式(1)中，R12独立为选自由碳数为6～20的烷基、碳数为3～20的环烷基、碳数为6～20的芳基、碳数为1～20的烷基矽烷基、以及碳数为2～20的烷基酯基所组成的组群中的官能基，或者氢原子；(其中，至少一个R12为选自由碳数为6～20的烷基、碳数为6～20的环烷基、碳数为6～20的芳基、碳数为1～20的烷基矽烷基、以及碳数为2～20的烷基酯基所组成的组群中的官能基)X独立为选自由氢原子、碳数为1～20的烷基、碳数为3～20的环烷基、碳数为6～20的芳基、碳数为1～20的烷氧基、氰基、硝基、羟基、杂环基、卤素原子、羧基、碳数为1～20的烷基矽烷基、以及碳数为2～20的烷基酯基所组成的组群中的官能基；R'独立为选自由碳数为1～20的烷基、具有羧基的碳数为1～20的烷基、碳数为3～20的环烷基、具有羧基的碳数为3～20的环烷基、碳数为6～20的芳基、碳数为1～20的烷氧基、氰基、硝基、杂环基、卤素原子、羧基、羟基、碳数为1～20的烷基矽烷基、以及碳数为2～20的烷基酯基所组成的组群中的官能基；(其中，至少一个R'为具有羧基及/或羟基的碳数为1～20的烷基、具有羧基及/或羟基的碳数为3～20的环烷基、或者由下述式[化2]所表示的基，R4为选自由碳数为1～14的烷基、碳数为3～14的环烷基、碳数为6～14的芳基、碳数为1～14的烷氧基、氰基、硝基、杂环基、卤素原子、羧基、羟基、碳数为1～14的烷基矽烷基、以及碳数为2～14的烷基酯基所组成的组群中的官能基，且至少一个R4为羟基或羧基，p为1～5的整数))。