调整方法和基板处理装置

摘要

本发明提供一种调整方法和基板处理装置，能够提高基板处理装置的生产率。基板处理装置(1)包括：相互组合而进行一系列的工序的处理模块(10A、10B)；和控制部(70)。当由于处理模块(10A)的调整的开始而中断所述一系列的工序时，处理模块(10B)成为待机状态，并且以至少在处理模块(10B)中与基板(W)的处理相关联而设定的第二累计值在设定值N2以上为条件，在处理模块(10B)中开始第三累计值的计数，当该第三累计值超过设定值N3时，实施处理模块(10B)的调整。

主权项

一种调整方法，在具备对基板进行规定处理的多个处理室的基板处理装置中对所述处理室的内部进行调整，该调整方法的特征在于，包括：所述多个处理室包括相互组合而对基板实施一系列的工序的第一处理室和第二处理室，在所述第一处理室中，在与基板的处理相关联而设定的第一累计值达到设定值N1时，实施调整，当由于所述第一处理室的调整的开始而中断所述一系列的工序时，所述第二处理室成为待机状态，并且以至少在所述第二处理室中与基板的处理相关联而设定的第二累计值为设定值N2以上作为条件，在所述第二处理室中开始第三累计值的计数，当该第三累计值超过设定值N3时，实施所述第二处理室的调整，所述第二处理室设定为，当所述第二累计值达到设定值N4时，与所述第一处理室独立地实施调整，并且所述设定值N2与从所述设定值N4减去所述设定值N1所得的值相等，且所述设定值N4是比所述设定值N1大的值。