一种接触式扫描测头

摘要

本实用新型公开了一种接触式扫描测头。它以气浮轴承为旋转轴，测量杆的摆臂的顶端为一个圆弧面,它的圆心与气浮轴承的旋转中心重合，圆弧光栅贴合在圆弧面上，摆臂的底端与气浮轴承连接；圆弧光栅读数头固定在测量杆的正上方；测量臂的一端固定在气浮轴承上，另一端安装红宝石测针。本实用新型基于杠杆原理，借助于一个小型的气浮轴承，提供了一种低接触力、高精度、可扫描的测量机构，实现对工件面形的快速检测。本实用新型提供的测头与检测工件的接触力可调整到无限小，杠杆的旋转中心采用小型的气浮轴承，从而保证了检测精度。同时，采用传统的光栅检测单元，在同等精度条件下大幅降低了设备的成本。

主权项

一种接触式扫描测头，其特征在于：它包括测量杆、测量臂和旋转轴；所述的旋转轴为一个气浮轴承（5）；所述测量杆包括摆臂（3）和圆弧光栅（1），摆臂（3）的顶端为一个圆弧面, 所述圆弧面的圆心与气浮轴承（5）的旋转中心重合，圆弧光栅（1）贴合在圆弧面上，摆臂（3）的底端与气浮轴承（5）连接；摆臂（3）的二侧分别安装左限位挡块(9) 和右限位挡块(10)；圆弧光栅读数头（2）固定在测量杆的正上方,光栅读数头（2）通过引出的光栅线缆（8）与光栅信号处理装置的光栅信号输入接口连接；所述测量臂（6）的一端固定在气浮轴承（5）上，另一端安装红宝石测针（7）；气浮轴承（5）连接测量臂（6）和测量杆；气浮轴承（5）上安装有接触力调节螺母（4）。