研磨垫及研磨垫的制造方法

摘要

本发明的目的在于，提供一种研磨垫，其在进行研磨的状态下进行高精度的光学终点检测，即使在长时间使用的情况下，也可以防止来自研磨区域与透光区域之间的漏浆。本发明的研磨垫将具有研磨区域及透光区域的研磨层和具有比透光区域小的开口部(B)的缓冲层层叠，使得透光区域与开口部(B)重合，并且在所述透光区域的背面与所述开口部(B)的断面的接触部分，设有将该接触部分覆盖的环状的不透水性弹性构件。

主权项

一种制造研磨垫的方法，所述研磨垫是将具有研磨区域及透光区域的研磨层和具有比透光区域小的开口部B的缓冲层层叠，使得透光区域与开口部B重合，并且在所述透光区域的背面与所述开口部B的断面的接触部分，设有将该接触部分覆盖的环状的不透水性弹性构件的研磨垫，该方法包括：将具有研磨区域及透光区域的研磨层与具有比透光区域小的开口部B的缓冲层层叠，使得透光区域和开口部B重合的工序；以及通过在所述透光区域的背面与所述开口部B的断面的接触部分，涂布不透水性树脂组合物而将其硬化，来形成将该接触部分覆盖的环状的不透水性弹性构件的工序。