线切割回收液的化学处理方法

摘要

本发明公开一种线切割回收液的化学处理方法，所述方法包括在线切割回收液中加入羧酸类聚合物和醇胺类物质的步骤。经添加剂处理后，线切割回收液完全可直接应用于硅片切割，且能获得与新切割液相当的性能，从而提高回收液的利用率并降低生产成本。

主权项

一种线切割回收液的化学处理方法，所述方法包括在线切割回收液中加入羧酸类聚合物和醇胺类物质的步骤；所述方法还包括加入醇醚类和苯乙烯类多聚物的步骤；所述的醇醚类选自壬基酚聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠；所述羧酸类聚合物、醇胺类物质、醇醚类和苯乙烯类多聚物的总添加量为线切割回收液总重量的1‑5％；在搅拌下将所述羧酸类聚合物、醇胺类物质、醇醚类和苯乙烯类多聚物加入到线切割回收液中。