附树脂之网版印刷用光罩的制造方法及含树脂之网版印刷用光罩

摘要

本发明之网版印刷用光罩的制造方法，其系于具有开口部之网版印刷用光罩之一者的主表面上，于与该开口部略同位置上设有具开口部之树脂层而构成；其特征在于包含如下步骤：于该网版印刷用光罩之一者的主表面上藉由层合加工而被覆树脂层之步骤；使位于与该网版印刷用光罩之开口部略同位置上之该树脂层之一部分以自动对位除去而于树脂层上形成开口部之步骤。

主权项

一种附树脂之网版印刷用光罩的制造方法，其系于具有开口部之网版印刷用光罩之一者的主表面上，于与该开口部略同位置上设有具开口部之树脂层而构成；其特征在于包含如下步骤：于该网版印刷用光罩之一者的主表面上藉由层合加工而被覆树脂层之步骤；使位于与该网版印刷用光罩之开口部略同位置上之该树脂层之一部分以自动对位除去而于树脂层形成开口部之步骤，前述树脂层系由光交联性树脂或具有加热硬化性的树脂所构成者。