用于真空镀膜设备之冷凝装置

摘要

一种用于真空镀膜设备之冷凝装置,包含有一进气管、一出气管,以及一介于进气管与出气管之间之冷阱组件,冷阱组件具有一第一弧形弯管及一第二弧形弯管,第一弧形弯管与进气管之间、第一、第二弧形弯管之间,以及第二弧形弯管与出气管之间分别藉由一个冷阱管而两两连接在一起,各冷阱管内设有一障板组,各障板组具有多数个相互并排之倾斜障板及一贴抵于各倾斜障板之冷却水管,藉此,来自腔体内之蒸气在通过冷阱组件的过程中会顺利凝结在各倾斜障板的表面,并能避免对第一弧形弯管及第二弧形弯管造成腐蚀损坏。