用于机械工具装置之类比量测探针及操作方法

摘要

一种用于机械工具装置之类比探针包含：一探针主体；一触针部件，其可移动地紧固至该探针主体；及一感测器，其用于量测该触针部件相对于该探针主体之位移的程度，其中该感测器容纳于该探针主体中之一腔室内。该类比探针进一步包含在该腔室与该探针主体之外部之间的一通风口，该通风口经组态以使得当该通风口打开时，该腔室内之气压可与该类比探针之操作环境的气压相等，且经进一步组态以使得针对探针主体之外部的通风口开口可在类比探针之操作期间关闭以便密封该腔室且因此密封该感测器以防止外部污染物。

主权项

一种用于一机械工具装置之类比探针，其包含：一探针主体；一触针部件，其可移动地紧固至该探针主体；一感测器，其用于量测该触针部件相对于该探针主体之位移的程度，其中该感测器容纳于该探针主体中之一腔室内；及一通风口，其在该腔室与该探针主体之外部之间，其经组态以使得当该通风口打开时，该腔室内之气压可与该类比探针之操作环境的气压相等，且经进一步组态以使得针对该探针主体之该外部的该通风口开口可在该类比探针之操作期间关闭以便密封该腔室且因此密封该感测器以防止外部污染物。