加热装置

摘要

【课题】提供一种加热装置，可将安装于加热面之被加热物在面内均匀地加热，而且可在宽的温度范围良好地维持均热性。;【解决手段】加热装置10，包括：陶瓷基体11，系具有加热面11a，并埋设电阻发热体12；及温度调整构件21，系安装并固定成靠近该陶瓷基体11的背面11b。于该陶瓷基体11的加热面和电阻发热体12之间，配设具有比陶瓷基体11的导热系数比更高之导热系数的导热性构件14。对陶瓷基体11和温度调整构件21之间的空隙31，可调整压力地引入气体。

主权项

一种加热装置，其特征在于包括：基体，系具有放置基板的加热面，并由陶瓷所构成；发热体，系埋设于该基体的内部；导热性构件，系配设于该基体的加热面和发热体之间，并具有比基体之导热系数比更高的导热系数；以及温度调整构件，系设置成靠近该基体的背面；在该基体的背面和温度调整构件的面之间具有空隙，该空隙的端部设置抑制导入该空隙的气体漏气的机构，并和引入气体之气体引入装置连接成可调整该空隙的气体压力，其中该基体包括静电电极，该静电电极包含于该基体的上侧部分，而且该发热体包含于该基体的下侧部分，该上侧部分及该下侧部份为相同材料。