一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，包括：一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。本实用新型构思巧妙，结构简章，能有效的缩短降温时间，增强连续作业性，安全性高，投资较少，可以稳定地控制化学反应，从而降低生产成本。

主权项

一种用于多晶硅料清洗的酸液降温装置，其特征在于，包括：一酸槽，用于对放置的多晶硅料进行酸液清洗，一酸副槽，用于对存储的混合酸缓存及冷却，该混合酸为氢氟酸和硝酸的混合物，一循环管道，将所述酸槽和酸副槽连通，所述酸副槽内设置有列管式换热器，列管式换热器的一端连接有冷却水进口，列管式换热器的另一端连接有冷却水出口。