一种基于铝阳极氧化技术的基板及其制造方法

摘要

本发明公开了一种基于铝阳极氧化技术的基板及其制造方法。该基板包括：有多孔氧化铝介质的铝合金基板；位于铝合金基板第一表面的第一布线层；埋置于铝合金基板中的第二布线层；位于铝合金基板第二表面的第三布线层；以及贯穿铝合金基板第一表面及第二表面的铝全通柱和/或未贯穿铝合基板的铝半通柱。该基板制造方法包括以下步骤：对铝合金基板进行预处理、第一步光刻涂胶；第一步光刻；致密型阳极氧化、第一次去胶；第二步光刻涂胶、第二步光刻；穿透型阳极氧化、第二次去胶。本发明提供的基于铝阳极氧化技术的基板及其制作方法，制作流程简洁，基板热导率高，热膨胀系数可调，提高了三维封装的可靠性。

主权项

一种基于铝阳极氧化技术的基板，其特征在于，包括：铝合金基板，其含有多孔氧化铝介质，所述铝合金基板具有两相对的第一表面及第二表面；第一层布线，位于所述铝合金基板的第一表面上；第二层布线，埋置于所述铝合金基板中；第三层布线，位于所述铝合金基板的第二表面上；以及铝全通柱和/或铝半通柱，其中所述铝全通柱贯穿所述铝合金基板的第一表面及第二表面，所述铝半通柱未贯穿所述铝合金基板。