发明名称 晶圆定位起托器
摘要 晶圆定位起托器,包括盒体,还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索,刻度盘与绕轴连接在一起,同轴转动,绳索一端锁定在绕轴上,另一端连接在锲形块上,所述的锲形块、绳索安放在盒体中,刻度盘放置在盒体外,绕轴垂直穿过盒体侧壁。根据经验值在刻度盘上标注编号,通过刻度盘转动来托起晶圆。
申请公布号 CN203895424U 申请公布日期 2014.10.22
申请号 CN201420223895.0 申请日期 2014.05.05
申请人 房勇 发明人 房勇
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 徐州市淮海专利事务所 32205 代理人 华德明
主权项 晶圆定位起托器,包括盒体,其特征是:还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索,刻度盘与绕轴连接在一起,同轴转动,绳索一端锁定在绕轴上,另一端连接在锲形块上,所述的锲形块、绳索安放在盒体中,刻度盘放置在盒体外,绕轴垂直穿过盒体侧壁。
地址 221000 江苏省徐州市铜山区棠张镇马兰村1队569号