发明名称 | 晶圆定位起托器 | ||
摘要 | 晶圆定位起托器,包括盒体,还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索,刻度盘与绕轴连接在一起,同轴转动,绳索一端锁定在绕轴上,另一端连接在锲形块上,所述的锲形块、绳索安放在盒体中,刻度盘放置在盒体外,绕轴垂直穿过盒体侧壁。根据经验值在刻度盘上标注编号,通过刻度盘转动来托起晶圆。 | ||
申请公布号 | CN203895424U | 申请公布日期 | 2014.10.22 |
申请号 | CN201420223895.0 | 申请日期 | 2014.05.05 |
申请人 | 房勇 | 发明人 | 房勇 |
分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
代理机构 | 徐州市淮海专利事务所 32205 | 代理人 | 华德明 |
主权项 | 晶圆定位起托器,包括盒体,其特征是:还包括刻度盘、绕轴、锲型块和绳索,刻度盘与绕轴连接在一起,同轴转动,绳索一端锁定在绕轴上,另一端连接在锲形块上,所述的锲形块、绳索安放在盒体中,刻度盘放置在盒体外,绕轴垂直穿过盒体侧壁。 | ||
地址 | 221000 江苏省徐州市铜山区棠张镇马兰村1队569号 |