MEMS压力传感器、电子器件、高度计以及电子设备

摘要

MEMS压力传感器、电子器件、高度计以及电子设备，能够在基板上形成薄壁的隔膜部，即使压力低，也能够使隔膜部变形，从而能够构成可计测准确的微小压力的压力传感器。MEMS压力传感器具有：隔膜部，其根据压力进行移位；以及谐振器，其形成在所述隔膜部的主面上，所述谐振器具有：第1固定电极，其设置在所述主面上；以及驱动电极，其具有第2固定电极、可动电极以及支撑电极，该第2固定电极设置在所述主面上，该可动电极与所述第1固定电极隔开，在从所述主面的法线方向俯视时与所述第1固定电极重叠，并在与所述主面交叉的方向上进行驱动，该支撑电极支撑所述可动电极并与所述第2固定电极连接。

主权项

一种MEMS压力传感器，其特征在于，该MEMS压力传感器具有：隔膜部，其根据压力进行移位；以及谐振器，其配置在所述隔膜部的主面上，所述谐振器具有：第1固定电极，其设置在所述主面上；以及驱动电极，其具有第2固定电极、可动电极以及支撑电极，该第2固定电极设置在所述主面上，该可动电极与所述第1固定电极隔开，在从所述主面的法线方向俯视时与所述第1固定电极重叠，并在与所述主面交叉的方向上进行驱动，该支撑电极支撑所述可动电极并与所述第2固定电极连接。