| 摘要 |
<p>Es wird ein mikromechanischer kapazitiver Beschleunigungssensor zur Erfassung der Beschleunigung eines Objekts beschrieben, mit einem Sensorgehäuse (1), welches bezüglich dem Objekt ortsfest ist, mit einer trägen Sensormasse (2), welche relativ zu dem Sensorgehäuse (1) um eine Ausgangslage elastisch beweglich gelagert und von diesem umgeben ist, und mit einer Erfassungseinrichtung zur Erzeugung eines die Beschleunigung des Objekts repräsentierenden Ausgangssignals aus der Lage der Sensormasse (2) relativ zu dem Sensorgehäuse (1), welche an der Sensormasse (2) vorgesehene erste Kondensatorelektroden und an der Innenseite des Sensorgehäuses (1) unter Bildung eines schmalen Spaltes (3, 4) in geringem Abstand den ersten Kondensatorelektroden gegenüberliegend angeordnete zweite Kondensatorelektroden umfasst. Erfindungsgemäss sind an einer oder mehreren den, schmalen Spalt (3, 4) zwischen Sensormasse (2) und Sensorgehäuse (1) begrenzenden Flächen Drainagestrukturen (5; 6; 7; 8) zur Aufnahme von in dem schmalen Spalt (3, 4) vorhandenen Gasteilchen bei deren Verdrängung aufgrund der Relativbewegung zwischen Sensormasse (2) und Sensorgehäuse (1) vorgesehen.</p> |
