容纳容器内的气氛管理方法

摘要

本发明提供容纳容器内的气氛管理方法。其是处理装置中的容纳容器内的气氛管理方法，处理装置具有由分隔壁隔开的基板搬送区域和容器搬送区域，分隔壁具有利用开闭门进行开闭的搬送口；处理装置包括：容器保管架，其设于该容器搬送区域，用于暂时载置能够利用盖体的开闭而密闭容纳多个基板的容纳容器以供容纳容器待机；盖体开闭机构，其设于开闭门，能够一边拆卸容纳容器的与搬送口的口缘部密合的盖体一边用非活性气体对容纳容器内进行置换；气氛管理方法具有如下工序：利用盖体开闭机构来用非活性气体对容纳有未处理的基板的容纳容器内进行置换；将内部被非活性气体置换后的容纳容器搬送并载置到容器保管架上；以及使容纳容器在容器保管架上待机。

主权项

一种容纳容器内的气氛管理方法，其是处理装置中的容纳容器内的气氛管理方法，该处理装置具有由分隔壁隔开的基板搬送区域和容器搬送区域，该分隔壁具有利用开闭门进行开闭的搬送口；该处理装置包括：装载部，其设于该容器搬送区域，能够载置容纳容器；容器保管架，其设于上述容器搬送区域，用于暂时载置能够利用盖体的开闭而密闭容纳多个基板的容纳容器以供该容纳容器待机；盖体开闭机构，其设于上述开闭门，能够一边拆卸上述容纳容器的与上述搬送口的口缘部密合的上述盖体一边用非活性气体对上述容纳容器内进行置换；该容纳容器内的气氛管理方法具有：气体置换工序，利用上述盖体开闭机构来用上述非活性气体对容纳有未处理的基板的上述容纳容器内进行置换；保管工序，将内部被上述非活性气体置换后的上述容纳容器搬送并载置到上述容器保管架上；气氛维持工序，使上述容纳容器在上述容器保管架上待机。