发明名称 |
加压加热接合结构及加压加热接合方法 |
摘要 |
本发明公开一种加压加热接合结构及加压加热接合方法。所述的一种加压加热接合结构,将使用金属微粒作为接合材料而将两个部件加压加热接合,其中,将线膨胀系数不同的第一部件(14)与第二部件(4A)配置成使产生于该第一部件与第二部件之间的热应力作为加压力作用于两个部件的接合面(F2),并在将所述金属微粒设置在所述接合面之间的状态下升温而将所述第一部件与所述第二部件加压加热接合。根据本发明,即使在与加压方向正交的接合面上也能有效地进行加压加热接合。 |
申请公布号 |
CN104103611A |
申请公布日期 |
2014.10.15 |
申请号 |
CN201410136723.4 |
申请日期 |
2014.04.04 |
申请人 |
富士电机株式会社 |
发明人 |
木下庆人;望月英司;西泽龙男;多田慎司 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01)I;H01L21/603(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 |
代理人 |
金光军;金玉兰 |
主权项 |
一种加压加热接合结构,使用金属微粒作为接合材料而将两个部件加压加热接合而成,其特征在于,将线膨胀系数不同的第一部件与第二部件配置成使产生于该第一部件与第二部件之间的热应力作为加压力作用于两个部件的接合面,并在将所述金属微粒设置在所述接合面之间的状态下升温而将所述第一部件与所述第二部件加压加热接合。 |
地址 |
日本神奈川县川崎市 |