| 发明名称 |
一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路，其包括多个并联设置的MO源供给系统，所述MO源供给系统包括：控制载气流量的第一质量流量控制器，所述第一质量流量控制器通过第一气动阀与MO源瓶入口处的第一手动阀相连通，所述MO源瓶的出口依次通过第二手动阀和第二气动阀与压力控制器相连通，所述第一气动阀和所述第二气动阀之间还设有将二者直接连通的第三气动阀，还包括设于载气输入端与所述压力控制器之间，将二者直接连通的第二质量流量控制器。在本实用新型中，所述第二质量流量控制器的设置可以增加带有MO源的载气通往所述压力控制阀的压强，使得带有MO源的载气能够顺利达到反应室，保证实验的顺利进行。 |
| 申请公布号 |
CN203878209U |
申请公布日期 |
2014.10.15 |
| 申请号 |
CN201320897283.5 |
申请日期 |
2013.12.25 |
| 申请人 |
苏州矩阵光电有限公司 |
发明人 |
张念站;李晓东;崔德国 |
| 分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种用于MOCVD设备的MO源供给系统管路，其包括多个并联设置的MO源供给系统，所述MO源供给系统包括：控制载气流量的第一质量流量控制器(1)，所述第一质量流量控制器(1)通过第一气动阀(11)与MO源瓶(2)入口处的第一手动阀(21)相连通，所述MO源瓶(2)的出口依次通过第二手动阀(22)和第二气动阀(12)与压力控制器(3)相连通，所述第一气动阀(11)和所述第二气动阀(12)之间还设有将二者直接连通的第三气动阀(13)，其特征在于：还包括设于载气输入端(4)与所述压力控制器(3)之间，将二者直接连通的第二质量流量控制器(5)。 |
| 地址 |
215614 江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技园D栋 |
