一种增强光离子化效率的装置及方法

摘要

本发明涉及增强光离子化效率的方法及装置，该装置包括产生光子的光源、光子在其中运动的光学谐振腔，施加在光学谐振腔上的电场以及与光学谐振腔连通的进样口，由于光子在谐振腔中反复震荡，可以大幅度提高光子和样品分子的作用机会，从而提高光离子化的效率。光学谐振腔中光子谐振的方向、样品从进样口进入的方向以及电场形成的离子运动方向在三维空间处于正交结构，从而减少污染，延长使用寿命。

主权项

一种增强光离子化效率的装置，其特征在于：该装置包括Kr气体真空紫外灯光源，用于产生光子；与光源相邻的光学谐振腔，光子进入后产生谐振，由半透反射镜和全反射镜相对形成；电场，用于引出离子，包括推斥电极以及与推斥电极相向设置并设有通孔的地电极；所述半透反射镜、全反射镜、推斥电极以及地电极围成一个收容空间；进样口，与光学谐振腔连通用于进入汽化后的样品分子；所述样品分子进入方向与光子谐振方向以及离子引出方向垂直。