| 发明名称 | 一种真空离子镀钛炉的靶材接头 | ||
| 摘要 | 一种真空离子镀钛炉的靶材接头，包括靶体，所述靶体上一体连接基座，所述基座内开设一凹孔，凹孔侧壁上设置内螺纹；所述基座上开设凹陷部。本靶材接头通过凹陷部的设计，提高了利用率，减少基座的体积，避免了金属的浪费，增加了靶体的使用时间，并可以回收一部分的冷凝后的金属。 | ||
| 申请公布号 | CN104087901A | 申请公布日期 | 2014.10.08 |
| 申请号 | CN201410357765.0 | 申请日期 | 2014.07.25 |
| 申请人 | 浙江博海金属制品科技有限公司 | 发明人 | 韩永全 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/32(2006.01)I |
| 代理机构 | 湖州金卫知识产权代理事务所(普通合伙) 33232 | 代理人 | 裴金华 |
| 主权项 | 一种真空离子镀钛炉的靶材接头，包括靶体（1），其特征在于：所述靶体（1）上一体连接基座（2），所述基座（2）内开设一凹孔（3），凹孔（3）侧壁上设置内螺纹（31）；所述基座（2）上开设凹陷部（21）。 | ||
| 地址 | 313000 浙江省湖州市德清县武康镇德清经济开发区长虹街伟业路15号 | ||