使用芯片的检查装置

摘要

本发明提供一种使用芯片的检查装置，抑制了对检测样品所用的测光部等光学部件的异物附着。该使用芯片的检查装置，具备：转子(5)，保持芯片(4)；测量室(7)，收存转子(5)，并设置贯穿孔(71)；光源(84)，穿过贯穿孔(71)，对芯片(4)照射测量用的光；测光部(8)，检测来自芯片(4)的光；旋转驱动机构(6)，对转子(5)进行旋转驱动，其特征在于，在贯穿孔(71)和使光通过的测光部(8)的开口部(81)之间，具备能够遮蔽或者非遮蔽开口部(81)的遮蔽体(9)，在不对芯片(4)照射光时以及不由测光部(8)进行检测时，利用遮蔽体(8)来遮蔽上述开口部(81)。

主权项

一种使用芯片的检查装置，具备：转子，保持芯片；测量室，收存该转子，并设置有贯穿孔；光源，穿过上述贯穿孔，对上述芯片照射测量用的光；测光部，检测来自上述芯片的光；以及旋转驱动机构，对上述转子进行旋转驱动，该使用芯片的检查装置的特征为，在上述贯穿孔和使光通过的测光部的开口部之间，具备能够遮蔽或者非遮蔽上述开口部的遮蔽体，在不对上述芯片照射光时以及不由测光部进行检测时，利用上述遮蔽体来遮蔽上述开口部，该使用芯片的检查装置具备：孔部，设置于上述转子上；凸部，设置为能够嵌合于上述孔部；以及驱动机构，使该凸部和上述遮蔽体可动；相应于上述驱动机构的旋转位置，使上述凸部嵌合于或者非嵌合于上述孔部，并且移动上述遮蔽体来遮蔽或者非遮蔽上述开口部。