| 发明名称 |
罩框单元、罩装置、及处理方法;MASK FRAME UNIT, MASK APPARATUS, AND PROCESSING METHOD |
| 摘要 |
本发明提供一种包含一框本体之罩框单元。该框本体包含复数个侧部分及包含复数个凹槽之一区域。该复数个侧部分支撑一罩主体。包含该复数个凹槽之该区域沿着该至少一侧部分之一长度方向设置在该复数个侧部分之至少一者中。 |
| 申请公布号 |
TW201438515 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
| 申请号 |
TW103105340 |
申请日期 |
2014.02.18 |
| 申请人 |
新力股份有限公司 |
发明人 |
栗山健太朗;久保智弘 |
| 分类号 |
H05B33/10(2006.01);H01L51/56(2006.01);C23C14/04(2006.01) |
主分类号 |
H05B33/10(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>陈长文</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
