发明名称 Procédé de dépôt de diamant en phase vapeur et équipement pour réaliser ce procédé.
摘要 La présente invention concerne un procédé de dépôt de diamant nanocristallin, caractérisé en ce qu’il est effectué à une température comprise entre 100 et 500 °C, à une pression comprise entre 0.1 et 1 mbar et en ce qu’il est sur un substrat présentant une surface tridimensionnelle. Un autre aspect de l’invention concerne un équipement pour réaliser ce procédé.
申请公布号 CH707800(A2) 申请公布日期 2014.09.30
申请号 CH20130000693 申请日期 2013.03.28
申请人 NEOCOAT SA 发明人 DAVID RATS;CHRISTOPH PROVENT
分类号 C23C16/27 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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