| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (5) zur Lagerung und/oder zum Transport von Objekten aus der Fertigung von elektronischen Bauteilen ausserhalb einer Prozessanlage, die eine Vielzahl von Aufnahmen zur Lagerung der Objekte aufweist und die Mittel zur Einleitung von Stickstoff oder einem anderen Inertgas in die Vorrichtung (5) versehen ist, um die Objekte mit Stickstoff zu umspülen. Um bei einer solchen Vorrichtung (5) eine Verbesserung bezüglich einer Vermeidung von Verunreinigungen der Objekte aus dem Bereich der Fertigung von elektrischen Bauteilen erzielen zu können, werden Mittel zur Erwärmung des Stickstoffs oder des Inertgases auf eine Temperatur im Bereich der Objekte von zumindest 30 °C oder mehr vorgeschlagen. |
