发明名称 | 一种金属物品表面保护方法 | ||
摘要 | 本发明公开了一种金属制品表面保护方法,包括:对待保护的金属制品表面进行清理、除油污、清洁和修复的预处理步骤;将上述预处理步骤处理后的金属制品置于原子层沉积设备中,并用载气对表面进行吹洗,同时利用真空泵对原子层沉积设备进行抽气的沉积前处理步骤;以及在适当的反应温度和压力下,将多种前驱体交替通入,从而使各种前驱体分别依此吸附在待保护表面并从而在各前驱体间发生化学反应而形成单层薄膜的沉积步骤;多次循环执行上述沉积步骤,即可在所述待保护表面生成致密的薄膜,实现对金属制品表面的隔水隔氧保护。本发明的方法可以解决目前的金属制品表面的保护薄膜不去够致密、厚度不均匀、以及寿命短且容易产生光泽等问题。 | ||
申请公布号 | CN104060239A | 申请公布日期 | 2014.09.24 |
申请号 | CN201410247951.9 | 申请日期 | 2014.06.06 |
申请人 | 华中科技大学 | 发明人 | 陈蓉;段晨龙;褚波;单斌;文艳伟 |
分类号 | C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人 | 梁鹏 |
主权项 | 一种金属制品表面保护方法,用于在金属表面沉积致密薄膜从而实现对金属制品的保护,其特征在于,该方法包括:对待保护的金属制品表面进行清理、除油污、清洁和修复的预处理步骤;将上述预处理步骤处理后的金属制品置于原子层沉积设备中,并用载气对表面进行吹洗,同时利用真空泵对原子层沉积设备进行抽气的沉积前处理步骤;以及在适当的反应温度和压力下,将多种前驱体交替通入,从而使各种前驱体分别依此吸附在待保护表面并从而在各前驱体间发生化学反应而形成单层薄膜的沉积步骤;通过多次循环执行上述沉积步骤,即可在所述待保护表面生成致密的薄膜,实现对金属制品表面的隔水隔氧保护。 | ||
地址 | 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |