| 摘要 |
Die vorliegende Erfindung schafft ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement und ein entsprechendes mikromechanisches Bauelement. Das Herstellungsverfahren umfasst die Schritte: Bereitstellen eines Substrats (1) mit einer in Strukturbereichen (3a–3e) freiliegenden einkristallinen Startschicht (1c), wobei die Strukturbereiche (3a–3e) eine Oberseite (O) und laterale Flanken (F) aufweisen, wobei auf der Oberseite (O) eine Katalysatorschicht (2) vorgesehen ist, welche geeignet ist, ein Siliziumwachstum der freiliegenden Oberseite (O) der strukturierten einkristallinen Startschicht (1c) zu fördern, und wobei auf den Flanken (F) keine Katalysatorschicht (2) vorgesehen ist; und Durchführen eines selektiven Aufwachsprozesses an der Oberseite (O) der einkristallinen Startschicht (1c) mittels der Katalysatorschicht (2) in einer Reaktivgasatmosphäre zum Ausbilden einer mikromechanischen Funktionsschicht (3‘). |
