Diffraktive und refraktive optische Elemente für EUV - Optiksysteme

摘要

Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Element für ein EUV-Optiksystem, insbesondere eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage, mit mindestens einem dreidimensionalem Körper (2, 12, 21, 22, 32), der ein Volumen aufweist, welches aus mindestens einem für EUV-Strahlung mit Wellenlängen unter 30 nm durchstrahlbaren Material gebildet ist, um im Gebrauch zumindest teilweise von EUV-Strahlung durchstrahlt zu werden, wobei der Körper mindestens eine dreidimensionale Struktur (8, 16, 18, 26, 28, 38) aufweist, die so ausgebildet ist, dass die Struktur für das EUV-Licht eine Diffraktion bewirkt, und/oder so ausgebildet ist, dass mehrere Bereiche gebildet sind, welche jeweils eine für das EUV-Licht refraktiv wirkende optische Fläche bereitstellen. Außerdem betrifft die Erfindung die Verwendung derartiger optischer Elemente in EUV-Optiksystemen und derartige EUV-Optiksysteme.