基板传送托盘及成膜装置

摘要

本发明提供一种基板传送托盘及成膜装置，其能够使用于基板传送的结构简化，并且能够提高成膜效率。该基板传送托盘（20）具备设置于框体（21）的上端侧的支承部（22），该支承部（22）具有与赋予用于传送的驱动力的驱动辊（63）接触的导轨部（31）。并且，即使在驱动辊（63）或与该驱动辊（63）接触的部分产生由膜剥落等产生的粒子，也能够由向厚度方向延伸的下壁部（32）接收该粒子。如此一来，虽然只是使支承部（22）的导轨部（31）与驱动辊（63）接触的简化结构，但也能够进行基板（101）的传送且能够抑制粒子的飞散。

主权项

一种成膜装置用基板传送托盘，在向与基板的厚度方向交叉的传送方向传送所述基板时,能够保持所述基板,该成膜装置用基板传送托盘具备：框体，能够安装所述基板；以及支承部，设于所述框体的一端侧，传送时支承所述框体，所述支承部具有：第1部分，与所述框体的所述一端侧连接，且至少沿所述框体的厚度方向延伸；以及第2部分，与赋予用于传送的驱动力的驱动辊接触。