一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口

摘要

一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口属于光刻投影物镜内部光学系统保护领域，目的在于解决现有技术存在的不便维护、重复定位精度低的问题，避免作为物镜光学系统中的窗口光学镜片热吸收引起的面形变化。本发明包括固定组件、镜框组件和镜筒组件；镜框组件包括V形夹持块、窗口镜框和窗口镜片；窗口镜框内侧设置有多个V形结构，V形夹持块通过螺钉固定在窗口镜框上，多个V形结构和V形夹持块圆周均布，窗口镜片通过多个V形结构和V形夹持块固定在窗口镜框上；镜筒组件包括窗口镜筒，镜框组件通过固定组件固定在镜筒组件上，镜框组件可以沿窗口镜筒径向实现抽拉；窗口镜片、窗口镜框和窗口镜筒同轴安放。

主权项

一种径向抽拉式结构的物镜保护窗口，其特征在于，包括固定组件(1)、镜框组件(2)和镜筒组件(3)；所述镜框组件(2)包括V形夹持块(2‑1)、窗口镜框(2‑2)和窗口镜片(2‑3)；所述窗口镜框(2‑2)内侧设置有多个V形结构，所述V形夹持块(2‑1)通过螺钉固定在所述窗口镜框(2‑2)上，所述多个V形结构和V形夹持块(2‑1)圆周均布，所述窗口镜片(2‑3)通过多个V形结构和V形夹持块(2‑1)固定在所述窗口镜框(2‑2)上；所述镜筒组件(3)包括窗口镜筒(3‑3)，所述镜框组件(2)通过固定组件(1)固定在所述镜筒组件(3)上，所述镜框组件(2)可以沿窗口镜筒(3‑3)径向实现抽拉；所述窗口镜片(2‑3)、窗口镜框(2‑2)和窗口镜筒(3‑3)同轴安放。