| 摘要 |
为了提供一种可确实地把持基板之基板把持装置。基板把持装置系具备:用来抬高复数个支柱(2)之昇降机构(20)、以及配置于各支柱(2)上之基板保持部(3)及基板导引构件(50)。支柱(2)具有:使基板保持部(3)及基板导引构件(50)彼此相对移动之相对移动机构。该相对移动机构,当支柱(2)上昇时使基板保持部(3)朝将基板(W)之周缘部释放的方向移动,且使基板导引构件(50)相对于基板保持部(3)往上昇;当支柱(2)下降时使基板保持部(3)朝将基板(W)之周缘部把持的方向移动,且使基板导引构件(50)相对于基板保持部(3)往下降。 |
