腔室内流体处理系统及使用其处理流体之方法;IN-CHAMBER FLUID HANDLING SYSTEM AND METHODS HANDLING FLUIDS USING THE SAME

摘要

样品腔室系建构成容纳靶材，使得部分的靶材是可以移除而作为样品。载体气体注入系统系建构成从样品腔室里的第一位置和第二位置将载体气体引入样品区，使得至少部分的样品可以由样品区里的载体气体所夹带。部分的样品区位在第一位置和第二位置之间。样品运输导管系建构成将载体气体所夹带之至少部分的样品运输到样品腔室外的位置。