发明名称 |
一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法 |
摘要 |
本发明涉及一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法,其特征在于包括先在金属衬底和石墨烯的结合体上沉积一层金属,在金属上表面涂一层有机胶体,然后放到腐蚀液中,得到有机胶体、金属层和石墨烯层的结合体,再将三者的结合体转移到目标衬底上并去除有机胶体,将得到的金属和石墨烯的结合体再次放到腐蚀液中,待金属层被去除,即得到转移好的石墨烯。与传统的湿法腐蚀化学转移方法相比,本方法在旋涂有机胶体之前在石墨烯表面沉积一层金属,阻挡石墨烯和有机胶体的直接接触,有效地避免了转移后有机胶体在石墨烯表面的残留。 |
申请公布号 |
CN104030274A |
申请公布日期 |
2014.09.10 |
申请号 |
CN201410231250.6 |
申请日期 |
2014.05.28 |
申请人 |
中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
陈志蓥;于广辉;张燕辉;隋妍萍;张浩然;张亚欠;汤春苗;朱博;李晓良 |
分类号 |
C01B31/04(2006.01)I |
主分类号 |
C01B31/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
潘振甦 |
主权项 |
一种提高石墨烯表面洁净度的湿法腐蚀化学转移法,包括:(1)先在金属催化衬底和石墨烯的结合体上沉积一层金属,在沉积金属层的上表面涂一层PMMA有机胶体,然后将所形成的有机胶体/表面沉积金属层/石墨烯/金属催化衬底结合体放到腐蚀液中,金属催化衬底完全腐蚀后得到有机胶体、表面沉积金属层和石墨烯的结合体,再将三者的结合体转移到目标衬底上并去除有机胶体;(2)将得到的金属和石墨烯的结合体再次放到腐蚀液中,待表面沉积金属层被去除,即得到转移好的石墨烯。 |
地址 |
200050 上海市长宁区长宁路865号 |