发明名称 |
微机电装置 |
摘要 |
本发明公开一种微机电装置,包括一梁柱体、一支撑体、及一接合物。梁柱体具有一第一侧与一第二侧,且第一侧与第二侧彼此相对。支撑体用以支撑梁柱体且相邻但不相连于梁柱体,此支撑体具有一第三侧与相对于第三侧的一第四侧,且支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层,这些第一束缚层与这些第二束缚层彼此交错相叠,其中第二侧与第三侧彼此相邻。接合物位于第二侧与第三侧之间、第一侧、及第四侧,此接合物用以接合并绝缘梁柱体与支撑体。本发明的微机电装置增强结构的强度,并使结构稳定、坚固且不变形,可有效改善其灵敏度,以进而提升于微机电的应用范围。 |
申请公布号 |
CN104030230A |
申请公布日期 |
2014.09.10 |
申请号 |
CN201410071664.7 |
申请日期 |
2014.02.28 |
申请人 |
先技股份有限公司 |
发明人 |
刘茂诚;吕柏纬;周文介;翁淑怡;王竣傑 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
梁挥;常大军 |
主权项 |
一种微机电装置,其特征在于,其包括:一梁柱体,具有一第一侧与一第二侧,该第一侧与该第二侧彼此相对;一支撑体,用以支撑该梁柱体且相邻但不相连于该梁柱体,该支撑体具有一第三侧与相对于该第三侧的一第四侧,且该支撑体包括多个第一束缚层与多个第二束缚层,该些第一束缚层与该些第二束缚层彼此交错相叠,其中该第二侧与该第三侧彼此相邻;以及一接合物,位于该第二侧与该第三侧之间、该第一侧、及该第四侧,该接合物用以接合并绝缘该梁柱体与该支撑体。 |
地址 |
中国台湾台北市大同区酒泉街34-1号6楼 |