PROCESSO PARA FORMAÇÃO DE REGIÕES SELETIVAS EM CÉLULAS SOLARES COM RADIAÇÃO LASER

摘要

PROCESSO PARA FORMAÇÃO DE REGIÕES SELETIVAS EEM CÉLULAS SOLARES COM RADIAÇÃO LASER. A presente invenção se refere ao melhoramento da eficiência de células solares de silício por meio do uso de regiões dopadas de forma seletiva para formar emissores ou regiões de campo retrodifusor. Regiões seletivas são caracterizadas por possuírem uma região altamente dopada e profunda sob a malha metálica das células solares e uma menos dopada e menos profunda nas demais regiões. Na invenção proposta, as regiões altamente dopadas são obtidas a partir de deposição de um dopante líquido por spin-on e posterior difusão por radiação laser. As regiões de menor dopagem e menor profundidae são obtidas com difusão de átomos dopantes provenientes de vapor de dopante ou dopante gasoso. Com o processo proposto obtém-se uma resistência de folha sob malha metálica menor que 20 <87>/ e na região sem malha metálica a resistência de folha é maior que 100 <87>/, resultando em valores próximos aos ideais de células solares de alta eficiência.