| 摘要 |
<p>PROCESSO DE DIFUSÃO EM LÂMINAS DE SILÍCIO PARA FABRICAÇÃO DE CÉLULAS SOLARES. A presente invenção descreve novo processo para produção de células solares, a partir de lâminas de silício, por meio da difusão de boro (ou outro dopante tipo p) e fósforo (ou outro dopante tipo n) nestas lâminas, usando uma camada de silicato para proteger a face com boro (ou outro opante tipo p) da difusão de fósforo (ou outro dopánte tipo n). Evita-se o uso de passo térmico de crescimento de camada de óxido de silício e o uso de resina para proteção de uma das faces durante o ataque de óxidos com ácido fluorídico. Desta forma, apresenta vantagens, dentre estas a não utilização de resinafotossensível, ácido fluorídrico tampão e acetona, permitindo a redução do número de etapas, no mínimo quatro, em processos de fabricação de células solares. Consequentemente há uma diminuição em horas de recursoshumanos e de consumo de energia elétrica, de gases de alta pureza e de produtos químicos, reduzindo-se o custo de produção em comparação com os métodos convencionais.</p> |
